Contraintes mécaniques en micro, nano et optoélectronique 

Public ISBD Titre : Contraintes mécaniques en micro, nano et optoélectronique Type de document : texte imprimé Auteurs : Mireille Mouis, Metteur en scène, réalisateur Editeur : Paris : Hermès science publ. Année de publication : 2006 Autre Editeur : Lavoisier Collection : Traité EGEM Importance : 448 p. Présentation : ill. Format : 25 cm ISBN/ISSN/EAN : 978-2-7462-1308-1 Note générale : Bibliogr. en fin de chapitres. Index. Langues : Français (fre) Mots-clés : Electronique;Optoélectronique;Microélectronique;Elasticité;Cristaux;Dispositifs optoélectroniques;Semiconducteurs;Contraintes mécaniques;Technologie silicium;Elasticité des cristaux;Thermodynamique des systèmes contraints;Croissance cristalline;Relaxation élastique des contraintes;Endommagement des films minces;Propriétés électroniques des semiconducteurs;Propriétés optiques des semiconducteurs Résumé : Sommaire : L'importance des contraintes en microélectronique. Théorie de l'élasticité des cristaux. Thermodynamique des systèmes contraints. Description élastique d'une surface. Rôle des contraintes mécaniques dans les technologies silicium. Croissance cristalline et génération de contraintes. Relaxation élastique des contraintes. Relaxation plastique des couches métalliques par dislocations et défauts étendus. Phénomènes d'endommagement des films minces : des structures de cloquage aux propriétés mécaniques locales. Exploitation des contraintes dans les structures à base de semi-conducteurs. Apports et limites d'une approche atomistique de la croissance hétéro-épitaxique. Utilisation des éléments finis pour l'analyse des contraintes. Analyse des contraintes et déformations de films minces par diffraction des rayons X et mesure de courbure. Influence des contraintes sur les propriétés électroniques et optiques des semi-conducteurs. Index Contraintes mécaniques en micro, nano et optoélectronique [texte imprimé] / Mireille Mouis, Metteur en scène, réalisateur . - Paris : Hermès science publ. : Lavoisier, 2006 . - 448 p. : ill. ; 25 cm. - (Traité EGEM) . ISBN : 978-2-7462-1308-1 Bibliogr. en fin de chapitres. Index. Langues : Français (fre) Mots-clés : Electronique;Optoélectronique;Microélectronique;Elasticité;Cristaux;Dispositifs optoélectroniques;Semiconducteurs;Contraintes mécaniques;Technologie silicium;Elasticité des cristaux;Thermodynamique des systèmes contraints;Croissance cristalline;Relaxation élastique des contraintes;Endommagement des films minces;Propriétés électroniques des semiconducteurs;Propriétés optiques des semiconducteurs Résumé : Sommaire : L'importance des contraintes en microélectronique. Théorie de l'élasticité des cristaux. Thermodynamique des systèmes contraints. Description élastique d'une surface. Rôle des contraintes mécaniques dans les technologies silicium. Croissance cristalline et génération de contraintes. Relaxation élastique des contraintes. Relaxation plastique des couches métalliques par dislocations et défauts étendus. Phénomènes d'endommagement des films minces : des structures de cloquage aux propriétés mécaniques locales. Exploitation des contraintes dans les structures à base de semi-conducteurs. Apports et limites d'une approche atomistique de la croissance hétéro-épitaxique. Utilisation des éléments finis pour l'analyse des contraintes. Analyse des contraintes et déformations de films minces par diffraction des rayons X et mesure de courbure. Influence des contraintes sur les propriétés électroniques et optiques des semi-conducteurs. Index

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